品牌大意:Kleindiek Nanotechnik成立于1997年,自豪地回顧了20多年的市場(chǎng)發(fā)展歷程,為他們?cè)谑澜绺鞯氐目蛻籼峁┪⒚缀图{米定位能力。在產(chǎn)品開發(fā)過(guò)程中,他們努力為用戶提供解決手頭任務(wù)的直觀路徑,以便在不被工具本身分心的情況下解決這些任務(wù)。他們的解決方案設(shè)計(jì)靈活、靈活、簡(jiǎn)單,同時(shí)保持max的分辨率和min的外部尺寸。德國(guó)KLEINDIEK主要產(chǎn)品:探測(cè)工作站、全編碼探針穿梭機(jī)、探針穿梭機(jī)、探測(cè)工具、探測(cè)站、工作站、微型機(jī)械手顯微鏡、變電站等。深圳華聯(lián)歐銷售德國(guó)KLEINDIEK產(chǎn)品,由華聯(lián)歐提供多年的德國(guó)KLEINDIEK品牌,價(jià)格合理,交貨時(shí)間快。具體品牌產(chǎn)品內(nèi)容請(qǐng)見下文《德國(guó)KLEINDIEK品牌介紹(KLEINDIEK納米顯微操縱儀)》分曉。
一、德國(guó)KLEINDIEK公司簡(jiǎn)介
Kleindiek Nanotechnik成立于1997年,自豪地回顧20多年的市場(chǎng)歷程,為世界各地的客戶提供微米和納米定位能力。1991年,公司創(chuàng)始人Stephan Kleindiek在圖賓根大學(xué)攻讀博士學(xué)位期間發(fā)明了Nanomotor®。該電機(jī)以及基于相同原理的旋轉(zhuǎn)電機(jī)的后續(xù)發(fā)明是Kleindiek Nanotechnik產(chǎn)品的基礎(chǔ)。各個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步需要高精度的定位技術(shù),具有極高的穩(wěn)定性、極低的漂移和高度的可操作性。尤其是半導(dǎo)體行業(yè)以及材料和生命科學(xué)領(lǐng)域的最新進(jìn)展,需要高精度工具來(lái)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的日常任務(wù),例如用于器件表征的納米探測(cè)、原位材料表征以及用于隨后的根本原因分析或結(jié)構(gòu)闡明。他們的目標(biāo)是為客戶提供特定任務(wù)所需的準(zhǔn)確工具以及高效使用這些工具的相應(yīng)應(yīng)用知識(shí)。此外,他們還為研究和產(chǎn)品開發(fā)中的大量應(yīng)用提供定制的尖端解決方案。在產(chǎn)品開發(fā)過(guò)程中,他們努力為用戶提供解決手頭任務(wù)的直觀途徑,以便在不被工具本身分散注意力的情況下完成這些任務(wù)。他們的解決方案設(shè)計(jì)靈活、簡(jiǎn)單,同時(shí)保持最高分辨率和最小外部尺寸。
二、德國(guó)KLEINDIEK部分產(chǎn)品介紹
1、德國(guó)KLEINDIEK完全編碼的探測(cè)器穿梭機(jī)(PS8e)
①PS8 Prober Shuttle已經(jīng)是市場(chǎng)上最緊湊、高度集成的納米探測(cè)系統(tǒng)。盡管如此,我他們到了一種向平臺(tái)添加位置編碼器的方法。這一最新功能可實(shí)現(xiàn)快速高效的納米探測(cè)工作流程。
②自動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)探頭的能力對(duì)于在最新技術(shù)節(jié)點(diǎn)上進(jìn)行探測(cè)尤其重要,在最新技術(shù)節(jié)點(diǎn)上,光束靈敏度是一個(gè)問(wèn)題,因此需要非常低的加速電壓。使用預(yù)定義的對(duì)齊位置,只需單擊按鈕,即可將所有八個(gè)探頭從其各自的停放位置移至樣品上方的一致高度處,彼此靠近!這消除了繁瑣的預(yù)對(duì)準(zhǔn)任務(wù),該任務(wù)涉及像散的不斷校正和/或需要切換到更高的加速電壓。
③PS8e采用MM4超扁平三軸機(jī)械手,具有無(wú)與倫比的穩(wěn)定性和精度。系統(tǒng)的整個(gè)高度為10毫米,使其與各種SEM負(fù)載鎖兼容,從而幫助您實(shí)現(xiàn)更高的樣品通量。Prober Shuttle還提供低電流、低容量測(cè)量功能,并與高級(jí)探測(cè)工具硬件和軟件套件完全兼容,包括實(shí)時(shí)接觸測(cè)試儀和電子束感應(yīng)電流成像模塊等。
2、德國(guó)KLEINDIEK探測(cè)器穿梭機(jī)(PS8)
①小巧實(shí)用
②具有模塊化組件的即插即用系統(tǒng)
③適用于大多數(shù)SEM/FIB儀器的接口解決方案(包括負(fù)載鎖兼容性)
④快速安裝和拆卸
⑤開創(chuàng)性的布線技術(shù)
⑥非磁性設(shè)計(jì),可與浸沒式鏡頭配合使用
⑦輕量級(jí)平臺(tái)只需放置在您的SEM樣品臺(tái)上
⑧可傾斜至FIB角度,例如用于電路編輯或延遲應(yīng)用
⑨易于改造現(xiàn)有工具
3、德國(guó)KLEINDIEK MM3A-EM探針臺(tái)
①M(fèi)M3A-EM探針臺(tái)由多達(dá)8個(gè)MM3A-EM微操縱器組成,與他們的X和Y方向行程為30 mm的長(zhǎng)距離子臺(tái)相結(jié)合。
②子臺(tái)可以選擇配備位置編碼器,產(chǎn)生50 nm的重復(fù)性。另一種選擇是添加范圍為3毫米的Z軸。
③整個(gè)平臺(tái)可以在短短幾分鐘內(nèi)安裝在SEM的載物臺(tái)上,并且可以輕松拆卸以使顯微鏡恢復(fù)到之前的狀態(tài)。
④MM3A-EM微操作器配備低電流、低容量測(cè)量功能,并與高級(jí)探測(cè)工具硬件和軟件套件完全兼容,包括實(shí)時(shí)接觸測(cè)試儀和電子束感應(yīng)電流成像模塊等。
⑤該平臺(tái)還可以配備溫度高達(dá)450°C的加熱臺(tái)。其他定制可根據(jù)要求提供(例如集成LED照明)。
4、德國(guó)KLEINDIEK帶編碼器的電子顯微鏡顯微操作器
①M(fèi)M3E基于非常成功的MM3A-EM微操作器,具有相同的緊湊性、精度和穩(wěn)定性以及閉環(huán)位置反饋。
②這一增強(qiáng)功能提供了提高系統(tǒng)易用性的方法(例如,通過(guò)定義只需單擊按鈕即可解決的停車和工作位置)。
③MM3E與市場(chǎng)上幾乎所有SEM或FIB/SEM完全兼容。它配備了直觀的拖放式控制軟件,可以輕松地將工具尖端定位在SEM或FIB/SEM工具內(nèi)的三個(gè)維度。
④該軟件執(zhí)行坐標(biāo)轉(zhuǎn)換,使MM3E表現(xiàn)為笛卡爾系統(tǒng),具有幾微米的再現(xiàn)性。通過(guò)可選的編碼軸向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器,樣品可以在樣品附近同心旋轉(zhuǎn)。
5、德國(guó)KLEINDIEK電子顯微鏡顯微操作器
①長(zhǎng)度:62.1毫米
②寬度:20.4毫米
③高度:25.4毫米
④重量:45克
⑤工作范圍A和B:240°
⑥工作范圍C:12 mm
⑦速度A和B:最高10毫米/秒
⑧速度C:最高2毫米/秒
⑨分辨率A:7 x 10–9 rad(0.5 nm)
⑩分辨率B:7 x 10–9 rad(0.2 nm)
?分辨率C:<0.05 nm
?無(wú)反彈或逆轉(zhuǎn)玩法
?亞納米分辨率(0.25 nm)
?廣泛的工作范圍(100 cm³)
?沒有像笛卡爾系統(tǒng)那樣的“盲軸”
?將粗調(diào)和微調(diào)集成在一個(gè)驅(qū)動(dòng)器中
?高運(yùn)行速度(高達(dá)10毫米/秒)
三、德國(guó)KLEINDIEK主要產(chǎn)品和型號(hào)
1、德國(guó)KLEINDIEK主要產(chǎn)品
①德國(guó)KLEINDIEK探測(cè)工作站
②德國(guó)KLEINDIEK全編碼探針穿梭機(jī)
③德國(guó)KLEINDIEK探針穿梭機(jī)
④德國(guó)KLEINDIEK探測(cè)工具
⑤德國(guó)KLEINDIEK探測(cè)站
⑥德國(guó)KLEINDIEK工作站
⑦德國(guó)KLEINDIEK微型機(jī)械手
2、德國(guó)KLEINDIEK產(chǎn)品型號(hào)
①德國(guó)KLEINDIEK PS8e、PS8、PS4、HIP、MM3A-EM、MHCSPS、MGS2-EM
②德國(guó)KLEINDIEK RoTip-EM、RoTip-EM、MTW-EM、LCMK-EM、MSU、MIS-EM、GIS-EM、FMS-EM、MCS-EM
③kleindiek探針臺(tái)MM3A-EM
④德國(guó)KLEINDIEK完全編碼的探測(cè)器穿梭機(jī)(PS8e)
⑤德國(guó)KLEINDIEK探測(cè)器穿梭機(jī)(PS8)
⑥德國(guó)KLEINDIEK探測(cè)器穿梭機(jī)(PS4)
⑦德國(guó)KLEINDIEK PS8冷卻(MHCSPS)
⑧德國(guó)KLEINDIEK MM3A-EM探針臺(tái)
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